量學發〔2026〕60號
各有關單位：
根據《中國計量測試學會科學技術進步獎管理辦法》有關規定，2025年度中國計量測試學會科學技術進步獎經初審、復審和評審委員會終審，并在中國計量測試學會官網公示無異議，現決定授予“半導體晶圓深亞波長缺陷多模態一體化檢測技術及裝備”等24個項目2025年度中國計量測試學會科學技術進步獎（獲獎項目和等級見附件）。
望各獲獎單位和人員以習近平新時代中國特色社會主義思想為指導，深入貫徹黨的二十大和二十屆歷次全會精神，弘揚科學家精神，聚焦高水平科技自立自強，深化計量測試技術攻關與成果轉化，加快構建國家現代先進測量體系，以計量創新助力新質生產力發展，為服務高質量發展作出新貢獻。
特此決定。
附件：獲獎項目名單
中國計量測試學會
2026年4月7日
關于授予“2025年度中國計量測試學會科學技術進步獎”獎勵的決定.PDF
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